Установка двухсторонней индивидуальной гидромеханической и мега звуковой очистки пластин

УСТАНОВКИ ДВУХСТОРОННЕЙ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ОТМЫВКИ ПЛАСТИН «АГМО» и «УГМО»

НАЗНАЧЕНИЕ:

Двухсторонняя индивидуальная гидромеханическая и мегазвуковая очистка пластин в автоматическом режиме. Возможно изготовление оборудования в упрощенном варианте с использованием ручной поштучной загрузки (выгрузки) пластин  -  УГМО-2 и УГМО-2А.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ: 

 

  • Двухсторонняя индивидуальная гидромеханическая очистка пластин с применением раствора и деионизованной воды;
  • Мегазвуковая очистка пластин;
  • Двухсторонняя промывка деионизованной водой;
  • Удаление капельной влаги центрифугированием;
  • Вертикальное расположение пластин в процессе транспортировки и обработки;
  • Возможность программного регулирования давления щеток на пластину;
  • Возможность применения кассет с различным шагом;
  • Наличие двух транспортеров повышает качество обработки, так как исключается загрязнение пластин носителями после чистовой обработки на центрифуге;
  • Двухуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем;
  • Установку следует эксплуатировать в помещениях класса Р5(100), Р4(10) по ГОСТ Р50766-95.

Установка двухсторонней индивидуальной и мегазвуковой очистки кремниевых пластин

Транспортная система с кремниевой пластиной

ХАРАКТЕРИСТИКИ Ед. изм. «АГМО-2» «УГМО-2» «АГМО-2А» «УГМО-2А»
Диаметр обрабатываемых пластин мм 51, 76 100, 150, 200
Загрузка/выгрузка пластин тип

автоматическая,

кассетная

ручная,

поштучная

автоматическая,

кассетная

ручная,

поштучная

Диапазон задания угловой скорости вращения ротора центрифуги об./мин 300 ÷ 3000
Диапазон задания угловой скорости вращения щеток об./мин 200 ÷ 300
Диапазон задания времени выполнения технологических операций с ÷ 99
Частота мегазвуковой обработки МГц 1,65
Мощность мегазвукового генератора кВт 0,05
Количество пластин в кассете шт. 25 - 25 -
Электропитание:    
- сеть переменного тока В 220
- частота Гц 50
Габаритные размеры установки (ДxШxВ) мм 1290х850х1150 750х850х1150 1158х803х2200 1200х803х2200