Автоматические кластерные комплексы химической обработки пластин

Кластерные линии предназначены для индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром 150-200мм в составе: А) Модульный комплекс индивидуальной жидкостной обработки пластин; Б) Модуль подготовки и подачи технологических сред.

Подробнее